特許
J-GLOBAL ID：200903053591221800
磁気浮上真空搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-213624
公開番号（公開出願番号）：特開平6-179524
出願日： 1992年07月18日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】 搬送対象物の汚染を抑えることができるとともに高真空を達成することができる磁気浮上真空搬送装置を提供する。【構成】 隔壁で形成され内部が真空状態に保持された真空トンネル1と、真空トンネル1内に配置された搬送台3と、搬送台3を非接触状態にて浮上支持する複数の浮上用電磁石4と、搬送台3を走行移動させるリニアモータ6と、搬送台3の垂直方向距離を検出する変位センサ8とを備えた磁気浮上真空搬送装置において、浮上用電磁石4、リニアモータ6及び変位センサ8を真空トンネル1の外側に配置するとともに浮上用電磁石4、リニアモータ6及び変位センサ8を隔壁2を貫通して真空トンネル1内にその一部が露出した薄肉キャップ5,7,9に収納した。
請求項（抜粋）：
隔壁で形成され内部が真空状態に保持された真空トンネルと、該真空トンネル内に配置された搬送台と、該搬送台を非接触状態にて浮上支持する複数の浮上用電磁石と、前記搬送台を走行移動させるリニアモータと、前記搬送台の垂直方向距離を検出する変位センサとを備えた磁気浮上真空搬送装置において、前記浮上用電磁石、リニアモータ及び変位センサを前記真空トンネルの外側に配置するとともに前記浮上用電磁石、リニアモータ及び変位センサを前記隔壁を貫通して真空トンネル内にその一部が露出した薄肉の容器状の収納部材に収納したことを特徴とする磁気浮上真空搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 54/02
, H01L 21/68
, H02K 41/02
