露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊東哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-010017
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195595
出願日： 1998年01月05日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
要約：

【要約】【課題】マスクが大型化しても自重変形による焦点位置の不均一が起こらない構成の露光装置を提供する。【解決手段】露光時、被露光基板を垂直方向以外の向きに配置する露光装置において、マスクの配置が垂直方向になるように光学部材等を配置する。

請求項（抜粋）：

露光時に被露光基板を垂直方向以外の向きに配置する露光装置において、露光時のマスクの配置が垂直方向になるように光学部材等を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 517 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 515 F

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