特許

J-GLOBAL ID：200903053593197885

環境試験装置

発明者： 関口 淳
出願人/特許権者： リソテック ジャパン株式会社
代理人 (1件)： 千田 稔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-183262
公開番号（公開出願番号）：特開平11-014535
出願日： 1997年06月25日
公開日（公表日）： 1999年01月22日
要約：

【要約】【課題】 既知の恒濃度の汚染物質環境にサンプルを所定時間暴露する環境試験が高精度で行える装置の提供。【解決手段】 サンプル予備室、恒濃度を保持する為の処理チャンバー、ロードロック型ベーク炉、導入ガス制御ライン、ガス希釈プリタンク、導入ガス量をコントロールするマスフロー及びイオンクロマトグラフを含み、サンプルの移動手段、恒濃度ガスの調整手段を有する、光酸発生剤を含む化学増幅系フォトレジストの環境耐性を評価するための試験環境を作り出すための環境試験装置。

請求項（抜粋）：

サンプル予備室、恒濃度を保持する為の処理チャンバー、ロードロック型ベーク炉、導入ガス制御ライン、ガス希釈プリタンク、導入ガス量をコントロールするマスフロー及びイオンクロマトグラフを含み、サンプルの移動手段、恒濃度ガスの調整手段を有する、光酸発生剤を含む化学増幅系フォトレジストの環境耐性を評価するための試験環境を作り出すための環境試験装置。

IPC (3件)：

G01N 17/00 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601

FI (3件)：

G01N 17/00 ,  G03F 7/038 601 ,  G03F 7/039 601