特許

J-GLOBAL ID：200903053609288436

光学部材、光源装置及び検査装置

発明者： 井上 毅
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 安瀬 正敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-097648
公開番号（公開出願番号）：特開2008-256860
出願日： 2007年04月03日
公開日（公表日）： 2008年10月23日
要約：

【課題】特別な設備を必要とすることなく光源装置の反射鏡が曇るのを防止することが可能な、光学部材を提供すること。【解決手段】支持部(透明ガラス16a)と、支持部に支持され、所望の波長の光14b(例えば、紫外線光から可視光線)を反射させる反射部16bと、支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光14c(例えば、赤外線光)を吸収し発熱して反射部を加熱する光吸収発熱部16cとを具備してなる。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

支持部と、 前記支持部に支持され、所望の波長の光を反射させる反射部と、 前記支持部に支持され、少なくとも前記所望の波長以外の光を吸収し発熱して前記反射部を加熱する光吸収発熱部と、 を具備してなることを特徴とする光学部材。

IPC (2件)：

G02B 5/08 ,  G02B 5/10

FI (3件)：

G02B5/08 A ,  G02B5/08 F ,  G02B5/10

Fターム (8件)：

2H042DA08 ,  2H042DA12 ,  2H042DA18 ,  2H042DB02 ,  2H042DB12 ,  2H042DC01 ,  2H042DD07 ,  2H042DE04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3266156号公報