特許

J-GLOBAL ID：200903053616494408

バンプ付基板の検査装置、検査方法及びバンプ付基板の製造方法

発明者： 長崎 正人 ,  恒川 智好
出願人/特許権者： 日本特殊陶業株式会社
代理人 (1件)： 菅原 正倫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-105555
公開番号（公開出願番号）：特開平11-287624
出願日： 1998年03月31日
公開日（公表日）： 1999年10月19日
要約：

【要約】【課題】 平バンプが形成された基板においても、そのバンプ体積の検査を正確にかつ迅速に行うことができる検査装置及び方法を提供する。【解決手段】 基板本体上に頂面の平坦なバンプを複数形成したバンプ付基板1の、バンプの配列された検査面CPに検査光LBを照射し、その反射光RBをPSD22にて受光しつつ検査光LBを検査面CP内にて二次元的に走査し、そのときのPSD22の検知出力に基づいて、検査面CP内の各位置の高さ値に関する情報と反射光RBの輝度情報を生成する。また、その生成された反射光輝度情報に基づき、検査面内における各バンプの頂面の存在領域(バンプ頂面存在領域)を特定する。そして、そのバンプ頂面存在領域の寸法又は面積と、バンプ頂面存在領域内の各位置の高さ値情報に基づいて生成されるバンプ高さ情報とを用いて、バンプの体積情報を生成する。

請求項（抜粋）：

基板本体上に、頂面がほぼ平坦な形状の複数のバンプが二次元的に配列されたバンプ付基板の検査装置であって、前記バンプ付基板の、少なくとも前記複数のバンプの配列された領域を検査面として、該検査面に検査光を照射する光源と、前記検査面からの前記検査光に基づく反射光を受光する受光部と、前記検査光を前記検査面内にて二次元的に走査する光走査手段と、前記受光部の検知出力に基づいて、前記検査面内の各位置の高さに関する情報を生成する高さ情報生成手段と、前記受光部の検知出力に基づいて、前記検査面上の各位置における反射光輝度情報を生成する反射光輝度情報生成手段と、その生成された反射光輝度情報に基づき、前記検査面内における各バンプの頂面の存在領域(以下、バンプ頂面存在領域という)を特定するバンプ頂面領域特定手段と、そのバンプ頂面存在領域の寸法又は面積に関する情報(以下、バンプ頂面大きさ情報という)を生成するバンプ頂面大きさ情報生成手段と、前記バンプ頂面存在領域内の各位置の高さ情報に基づいて、対応するバンプの高さに関する情報(以下、バンプ高さ情報という)を生成するバンプ高さ情報生成手段と、それらバンプ頂面大きさ情報とバンプ高さ情報とに基づいて、前記対応するバンプの体積に関する情報(以下、バンプ体積情報という)を生成するバンプ体積情報生成手段とを有し、少なくともそのバンプ体積情報を含んだ検査情報を生成する検査情報生成手段と、その生成した検査情報を出力する検査情報出力手段と、を備えたことを特徴とするバンプ付基板の検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/02 ,  G01B 11/24 ,  G02B 26/10 ,  H01L 23/12 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/34 505

FI (6件)：

G01B 11/02 Z ,  G01B 11/24 C ,  G02B 26/10 ,  H05K 3/00 Q ,  H05K 3/34 505 B ,  H01L 23/12 L