特許

J-GLOBAL ID：200903053620858813

圧電単結晶からなる振動子の製造方法

発明者： 吉野 隆史 ,  今枝 美能留 ,  加藤 賢治 ,  相馬 隆雄
出願人/特許権者： 日本碍子株式会社
代理人 (1件)： 杉村 暁秀 (外9名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-323935
公開番号（公開出願番号）：特開平10-163780
出願日： 1996年12月04日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】圧電単結晶の母材から振動子を形成するのに際して、振動子の外形の加工精度を向上させうるような新たな加工方法を提供することである。【解決手段】圧電単結晶からなる振動子の製造方法であって、圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって前記母材の分子を解離および蒸発させ、母材を振動子の形態に合わせて除去加工することによって、振動子を形成する。好ましくは、振動子が回転角速度センサ用の振動子であり、振動子の駆動振動と検出振動とが所定平面内で行われるものであり、圧電単結晶が、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム-タンタル酸リチウム固溶体およびランガサイトからなる群より選ばれる。

請求項（抜粋）：

圧電単結晶からなる振動子の製造方法であって、前記圧電単結晶からなる母材に対してレーザー光を照射し、光化学的な反応によって前記母材の分子を解離および蒸発させ、前記母材を前記振動子の形態に合わせて除去加工することによって、前記振動子を形成することを特徴とする、圧電単結晶からなる振動子の製造方法。

IPC (7件)：

H03H 3/02 ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/24 ,  H03H 9/19

FI (7件)：

H03H 3/02 B ,  G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H03H 9/19 A ,  H01L 41/08 Z ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 A