特許
J-GLOBAL ID：200903053621032552
ダイヤモンド被覆体およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
豊田 武久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-078848
公開番号（公開出願番号）：特開平6-264264
出願日： 1993年03月12日
公開日（公表日）： 1994年09月20日
要約：
【要約】【目的】 多結晶ダイヤモンド膜で被覆されたダイヤモンド被覆体として、ダイヤモンド膜の結晶粒が微細で、表面平滑性、緻密性、密着性の優れたものを提供する。【構成】 少なくとも表面部分が立方晶窒化ホウ素の多結晶膜からなる中間層が基材上に形成され、その中間層の表面に接するように多結晶ダイヤモンド膜が形成されてなるダイヤモンド被覆体。またイオンビーム促進蒸着法等によって立方晶窒化ホウ素の多結晶膜を生成した後、その表面に気相合成法によって多結晶ダイヤモンド膜を生成させる方法。
請求項（抜粋）：
少なくとも表面部分が立方晶窒化ホウ素の多結晶膜からなる中間層が基材上に形成され、その中間層の表面に接するように多結晶ダイヤモンド膜が形成されていることを特徴とするダイヤモンド被覆体。
引用特許：
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