特許
J-GLOBAL ID：200903053624451858
表面検査方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
荒船 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292057
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098102
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：
【要約】【課題】 検査対象として熱現像用感光材を使用しても、感光せずに、検出力を向上させることができ、また、コストを削減することのできる表面検査方法および装置を提供すること。【解決手段】 検査対象2の表面欠陥を検査する表面検査装置1を、検査対象2に対して光を照射する光源3と、検査対象2からの反射光または透過光を受光するセンサ4とを備えたものとする。そして、検査対象2を、搬送されているシート状の熱現像用感光材とし、光源3を、略白色光源または発光ダイオードとし、光源3を略白色光源とした場合は、該略白色光源から照射される光の波長を選択して透過する波長選択手段9を備える。
請求項（抜粋）：
検査対象に対して、光を照射し、前記検査対象からの反射光または透過光をセンサで受光し、該センサ上での光量変化により、前記検査対象の表面欠陥を検査する表面検査方法であって、前記検査対象が、搬送されているシート状の熱現像用感光材であり、前記光源が、略白色光源または発光ダイオードであり、前記光源が略白色光源である場合は、該略白色光源から照射される光の波長を選択して透過させることを特徴とする表面検査方法。
Fターム (11件)：
2G051AA41
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051BA20
, 2G051BB07
, 2G051BB09
, 2G051BB11
, 2G051CA01
, 2G051CA04
, 2G051CB01
, 2G051CB02
