特許

J-GLOBAL ID：200903053625263877

異物検査装置

発明者： 田代 英之 ,  萩原 恒幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-177391
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012745
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】 斜め照射光ビームに対して被検査面の高さ位置が相対的的に位置ずれしても、相対位置ずれに伴う検出感度の変動を補正することのできる、異物検査装置を提供することを目的とする。【構成】 本発明は、被検査面に斜めから光ビームを照射して前記被検査面に帯状の照射部を形成するための照射手段と、前記被検査物の表面に付着した異物からの散乱光を受光するための光電検出手段とを備えた異物検査装置であって、前記照射光ビームに対する被検査面の高さ方向の相対的位置ずれを検出するための位置検出手段と、該位置検出手段が検出した高さ方向の相対的位置ずれ情報に基づき相対的位置ずれに伴う検出感度の変動を補正するための検出感度補正手段とを備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被検査面に斜めから光ビームを照射して前記被検査面に帯状の照射部を形成するための照射手段と、前記被検査物の表面に付着した異物からの散乱光を受光するための光電検出手段とを備えた異物検査装置であって、前記照射光ビームに対する被検査面の高さ方向の相対的位置ずれを検出するための位置検出手段と、該位置検出手段が検出した高さ方向の相対的位置ずれ情報に基づき相対的位置ずれに伴う検出感度の変動を補正するための検出感度補正手段とを備えていることを特徴とする装置。