特許
J-GLOBAL ID：200903053631428624
一体化鏡を備えた光検出器及びその作成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-224597
公開番号（公開出願番号）：特開平10-093133
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【目的】基板上に光学部品を配置するフォトニクス・デバイスにおいて、基板に平行に進む光を検出する光検出器の基板への取り付けを簡単にするとともに、そのような光検出器の製造コスト低下及び小型化を図る。【構成・作用】反射鏡付きの台と、光検出素子を検出面を反射鏡に向けた状態で台の上に接着した構造の光検出器33、41。反射鏡は半導体ウエファを異方性エッチングすることによって作成でき、また光検出素子も半導体ウエファ上に作成できる。この2枚のウエファを張り合わせてから個々の光検出器部分に切り分けることによって、反射器と光検出素子が一体となっており、それによって基板への取り付け時に両者の位置関係の調節が不要である光検出器を一度に大量に作成することができる。
請求項（抜粋）：
光検出器(300)と反射器(214、217)を一体化する方法であって、(A)予め定められた角度で基板(200)の上部表面と交差するとともに反射器(214、217)の働きをする反射性側壁(212、215)を備えたほぼ角錐形の空洞(210、211)を前記基板(200)に形成するステップと、(B)光検出器(300)をその活性領域(301、302)が前記空洞(210、211)の前記反射性側壁(212、215)に面するようにして前記基板(200)に取り付けるステップと、(C)前記基板(200)を前記空洞(210、211)の位置で分離し、その前記反射性側壁(212、215)を前記光検出器(300)の前記活性領域(301、302)に対して平行に進む光にさらすステップを含む方法。
IPC (5件)：
H01L 31/12
, G01J 1/02
, G02B 5/08
, G02B 6/42
, H01S 3/18
H01L 31/12 E
, G01J 1/02 B
, G02B 5/08 Z
, G02B 6/42
, H01S 3/18
