特許

J-GLOBAL ID：200903053634481500

スクライブデータ作成装置及びスクライブデータ作成方法

発明者： 沖村 芳彦
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-141923
公開番号（公開出願番号）：特開平11-338123
出願日： 1998年05月22日
公開日（公表日）： 1999年12月10日
要約：

【要約】【課題】 スクライブデータを作成する際のパラメータ入力が正確かつ容易にできると共に、スクライブデータを短時間で作成することができるスクライブデータ作成装置及びスクライブデータ作成方法を提供する。【解決手段】 スクライブデータ作成装置を、スクライブデータの仕様、プロセス、マーク配置等に関する各種のパラメータを、その内容に基づいて分類して格納した複数のパラメータファイルから所望のパラメータを読み出し、かつ、マークに関する情報を格納したマーク情報ファイルから所望のマーク情報を読み出す読出手段3と、この読出手段3により読み出されたパラメータ及びマーク情報に基づいて、所定のデータ処理を行いスクライブデータを作成するデータ作成手段5とを有する構成とする。

請求項（抜粋）：

半導体集積回路を製造する際に必要なマーク類を配置したスクライブデータを作成するスクライブデータ作成装置であって、該スクライブデータの仕様、プロセス、マーク配置等に関する各種のパラメータを、その内容に基づいて分類して格納した複数のパラメータファイルから所望のパラメータを読み出し、かつ、マークに関する情報を格納したマーク情報ファイルから所望のマーク情報を読み出す読出手段と、該読出手段により読み出された該パラメータ及び該マーク情報に基づいて、所定のデータ処理を行いスクライブデータを作成するデータ作成手段とを有するスクライブデータ作成装置。

IPC (4件)：

G03F 1/08 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/301

FI (5件)：

G03F 1/08 D ,  G03F 1/08 M ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/78 L