特許
J-GLOBAL ID:200903053638246653
多数孔露光装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
渡辺 勤 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-058601
公開番号(公開出願番号):特開平7-088113
出願日: 1993年03月18日
公開日(公表日): 1995年04月04日
要約:
【要約】【目的】 操作を簡略化し、紫外線被爆を防ぐことのできる最小紅斑量測定が自動化された多数孔露光装置をうることを目的とするものである。【構成】 基板に複数の窓孔を設け、これを順に開閉する駆動部をもつ間欠移動シャッターからなる露光部と、該シャッターを予め設定した行程にしたがって動作せしめるための電子カウンタ.タイマーを持つ操作部とからなる最小紅斑量を測定するための多数孔露光装置である。
請求項(抜粋):
基板に複数の窓孔を設け、これを順に開閉する駆動部をもつ間欠移動シャッターからなる露光部と、該シャッターを予め設定した行程にしたがって動作せしめるための電子カウンタ.タイマーを持つ操作部とからなる最小紅斑量を測定するための多数孔露光装置。
IPC (3件):
A61B 10/00
, A61B 5/00
, A61B 5/107
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特公昭50-004988
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特開昭63-066520
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特開平3-246803
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