特許

J-GLOBAL ID：200903053642773900

ウエハ裏面研削用テープおよびその使用方法

発明者： 竹村 康男 ,  成松 治 ,  小松 和義 ,  武内 洋子
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-330220
公開番号（公開出願番号）：特開平6-177094
出願日： 1992年12月10日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【構成】 光重合性炭素-炭素二重結合を有し、かつ、フッ素を含有するアクリル系粘着剤、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート及びアクリル化ベンゾフェノン化合物を用いた紫外線硬化型粘着剤を、ショアーD型硬度が30のEVAとPPの2層からなる基材フィルムにロールコーターにて塗布し、塗布厚み30μmの紫外線硬化型粘着剤を有するウエハ裏面研削用テープを得る。【効果】 本ウエハ裏面研削用テープによれば、大口径ウエハを薄く研削した場合でも、ウエハの破損を防ぎ、かつ、表面を汚染しない。

請求項（抜粋）：

一層または二層以上の光透過性のフィルムからなり、少なくともその内の一層がショアーD型硬度が40以下である基材フィルムに、フッ素含有モノマーが3.0〜15.0重量%であるモノマー混合物100重量部を重合してなるアクリル酸エステル共重合体に光重合性炭素-炭素二重結合を付加したアクリル系粘着剤に、(メタ)アクリロイル基を4個以上有する化合物及び光重合性炭素-炭素二重結合を有する光重合開始剤からなる光硬化型粘着剤を塗布してなることを特徴とするウエハ裏面研削用テープ。

IPC (5件)：

H01L 21/304 321 ,  B24B 1/00 ,  C09J 7/02 JJU ,  C09J 7/02 JJY ,  C09J 7/02 JLE