ポジ型ホトレジスト組成物および傾斜インプランテーションプロセス用薄膜レジストパターンの形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-352291
公開番号（公開出願番号）：特開2003-149806
出願日： 2001年11月16日
公開日（公表日）： 2003年05月21日
要約：

【要約】【課題】引置き安定性が改善され、高コントラスト薄膜レジストパターンが形成でき、スカム発生抑制、良好な耐熱性のポジ型ホトレジスト組成物の提供。【解決手段】 (A)Mwが1500〜10000で、1μm膜厚に形成したレジスト被膜の、23°C、2.38重量%TMAH水溶液に対する完全溶解時間が10秒以下のアルカリ可溶性樹脂、(B)例えば下式(I)のキノンジアジドエステル化物、および(C)酸解離性基含有フェノール化合物を含有する組成物。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)ポリスチレン換算重量平均分子量(Mw)が1500〜10000であるアルカリ可溶性樹脂であり、かつ前記アルカリ可溶性樹脂を溶媒に溶解し、これを基板上に塗布し、110°Cで90秒間乾燥させて1μm膜厚に形成したレジスト被膜の、23°C、2.38重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に対する完全溶解時間が、10秒以下であるアルカリ可溶性樹脂、(B)下記一般式(I)【化1】〔式中、R1〜R8はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、またはシクロアルキル基を表し;R9〜R11はそれぞれ独立に水素原子または炭素原子数1〜6のアルキル基を表し;Qは水素原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、R9と結合し、炭素原子鎖3〜6のシクロアルキル基、または下記の化学式(II)で表される残基【化2】(式中、R12およびR13はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、またはシクロアルキル基を表し;cは1〜3の整数を示す)を表し;Dはそれぞれ独立に水素原子、1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し、少なくとも1つは1,2-ナフトキノンジアジド-5-スルホニル基を表し;a、bは1〜3の整数を表し;dは0〜3の整数を表し;nは0〜3の整数を表す〕で表されるキノンジアジドエステル化物、および(C)下記一般式(III)【化3】〔式中、R1〜R8はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、またはシクロアルキル基を表し;R9〜R11はそれぞれ独立に水素原子または炭素原子数1〜6のアルキル基を表し;Qは水素原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、R9と結合し、炭素原子鎖3〜6のシクロアルキル基、または下記の化学式(IV)で表される残基【化4】(式中、R12およびR13はそれぞれ独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素原子数1〜6のアルキル基、炭素原子数1〜6のアルコキシ基、またはシクロアルキル基を表し;cは1〜3の整数を示す)を表し;Eはそれぞれ独立に水素原子、1-エトキシエチル基を表し、少なくとも1つは1-エトキシエチル基を表し;a、bは1〜3の整数を表し;dは0〜3の整数を表し;nは0〜3の整数を表す〕で表される酸解離性基含有フェノール化合物を含有することを特徴とするポジ型ホトレジスト組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/004 506 , G03F 7/022 601 , G03F 7/039 601 , G03F 7/40 501 , H01L 21/027 , H01L 21/266

FI (7件)：

G03F 7/023 511 , G03F 7/004 506 , G03F 7/022 601 , G03F 7/039 601 , G03F 7/40 501 , H01L 21/30 502 R , H01L 21/265 M

Fターム (27件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB16 , 2H025AC01 , 2H025AD03 , 2H025BE01 , 2H025BE10 , 2H025CB29 , 2H025CC02 , 2H025CC20 , 2H025EA04 , 2H025FA01 , 2H025FA03 , 2H025FA12 , 2H025FA17 , 2H025FA29 , 2H096AA25 , 2H096BA10 , 2H096BA20 , 2H096CA12 , 2H096DA01 , 2H096EA02 , 2H096FA01 , 2H096GA08 , 2H096HA01 , 2H096JA04 , 2H096LA16

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