特許

J-GLOBAL ID：200903053645636831

電子分光装置

発明者： 工 藤 政 都
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-126460
公開番号（公開出願番号）：特開2001-312994
出願日： 2000年04月26日
公開日（公表日）： 2001年11月09日
要約：

【要約】【課題】 検出器である電子増倍管の劣化を防止することができる電子分光装置を提供すること。【解決手段】 試料クリーニングの指示が行われると、中央制御手段19は、インプットレンズ8に所定の電圧を印加させるための制御信号と、静電半球アナライザ9の分析エネルギーを0eVから所定のエネルギーまで掃引させるための制御信号を電源制御手段16に送る。さらに、中央制御手段19は、アナライザの指定分析エネルギーに基づき、チャンネルトロン10の印加電圧を制御する。すなわち、中央制御手段19は、試料のイオンエッチングが行われている場合、静電半球アナライザ9の指定分析エネルギーが例えば0eV以上20eV以下のとき、チャンネルトロン10への電圧印加を停止させる制御信号を電源制御手段16に送る。

請求項（抜粋）：

試料に一次線を照射する手段と、一次線照射によって試料から発生した電子をエネルギー選別して、ある特定のエネルギーを有する電子を取り出すエネルギー分析器と、該エネルギー分析器の分析エネルギーを指定するための手段と、前記エネルギー分析器により取り出された電子を検出する検出器と、前記試料をイオンエッチングするためのイオン照射手段を備えた電子分光装置において、試料のイオンエッチングの際に、前記エネルギー分析器の指定分析エネルギーに基づき、前記検出器の印加電圧を制御する手段を備えたことを特徴とする電子分光装置。

IPC (4件)：

H01J 49/06 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/44

FI (4件)：

H01J 49/06 ,  G01N 23/227 ,  H01J 37/244 ,  H01J 49/44

Fターム (28件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA20 ,  2G001BA06 ,  2G001BA08 ,  2G001BA09 ,  2G001CA03 ,  2G001DA01 ,  2G001EA04 ,  2G001GA01 ,  2G001GA04 ,  2G001GA08 ,  2G001GA09 ,  2G001JA01 ,  2G001JA05 ,  2G001JA06 ,  2G001KA01 ,  2G001NA03 ,  2G001PA07 ,  2G001RA04 ,  2G001RA05 ,  2G001RA20 ,  5C033NN01 ,  5C038FF05 ,  5C038KK04 ,  5C038KK17