特許

J-GLOBAL ID：200903053647480766

収差検出方法と収差検出装置

発明者： ▲高▼田 和政 ,  高本 健治
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-402746
公開番号（公開出願番号）：特開2002-202223
出願日： 2000年12月28日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【課題】 高精度に球面及び非点収差を検出する方法と装置を提供する。【解決手段】 シェアリング干渉像において、2つの回折光の光軸を結ぶ線分の中点をOとし該線分が干渉領域の境界と交わる交点をQ1したとき、中点Oと交点Q1のほぼ中点を通る該線分に垂直な線分Y0上の複数の測点で光強度変化の位相を求める。次に、測点位置をs、位相をφとしたとき、位相φを検出位置sの4次関数で近似する。次に、4次の近似関数の4次のみの成分を、位相φから差し引いてφ’を求める。最後に、φ’を検出位置sの2次関数で近似し、該関数の2次係数でレンズの3次の球面収差を評価する。

請求項（抜粋）：

(a)レンズから出射された光を回折し、異なる次数の2つの回折光を干渉させてシェアリング干渉像を得る工程と、(b)上記回折光の位相を変化させる工程と、(c)上記シェアリング干渉像において、上記2つの回折光の光軸を結ぶ線分の中点をOとし該線分が干渉領域の境界と交わる交点をQ1したとき、中点Oと交点Q1のほぼ中点を通る該線分に垂直な線分Y1上の複数の測点で光強度変化の位相を求める工程と、(d)上記測点位置をs、上記位相をφとしたとき、上記位相φを検出位置sの4次関数で近似する工程と、(e)該4次の近似関数の4次のみの成分を、上記位相φから差し引いてφ’を求める工程と、(f)上記φ’を検出位置sの2次関数で近似し、該関数の2次係数で上記レンズの3次の球面収差を評価する工程とを有することを特徴とする収差検出方法。

IPC (2件)：

G01M 11/02 ,  G11B 7/22

FI (2件)：

G01M 11/02 B ,  G11B 7/22

Fターム (5件)：

2G086HH06 ,  5D119AA38 ,  5D119BA01 ,  5D119EC02 ,  5D119PA05