光駆動型マイクロアクチュエータ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152041
公開番号（公開出願番号）：特開平5-340356
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】光駆動型の装置において、装置の雰囲気温度が変化しても作動せず、光の照射により確実に作動する光駆動型装置とする。【構成】出力用のピストン4と、ピストンの一端側に設けられた第1室31a,31bと、ピストンの他端側に設けられた第2室32a,32bと、熱エネルギーを受け膨張又は縮小する、第1室及び第2室内に充填された熱-容積可変換材と、第1室及び第2室内の熱-容積可変換材に混入され、光エネルギーを受け、熱エネルギーを発散する光-熱変換部材48と、一端が第1室及び第2室内の光-熱変換部材に光を照射可能な位置に保持され、他端が光発生手段に接続された光ファイバー13〜16とを有する光駆動形マイクロアクチュエータ。

請求項（抜粋）：

出力用のピストン、該ピストンの一端側に設けられた第1室、該ピストンの他端側に設けられた第2室、熱エネルギーを受け膨張又は縮小する、前記第1室及び第2室内に充填された熱-容積可変換材、前記第1室及び第2室内の熱-容積可変換材に混入され、光エネルギーを受け、熱エネルギーを発散する光-熱変換部材、一端が前記第1室及び第2室内の光-熱変換部材に光を照射可能な位置に保持され、他端が光発生手段に接続された光ファイバー、を有する光駆動形マイクロアクチュエータ。

IPC (3件)：

F04B 43/04 , F03G 7/06 , F04B 19/24

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開平4-134185
特開昭60-065901
特開昭57-053721

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