特許
J-GLOBAL ID:200903053651832880
マイクロレンズの製造方法、その製造方法で製造したマイクロレンズ、そのマイクロレンズを使用した光デバイス装置、およびその光デバイス装置のスライダー
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
酒井 宏明
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-051781
公開番号(公開出願番号):特開2000-280366
出願日: 1999年02月26日
公開日(公表日): 2000年10月10日
要約:
【要約】【課題】 高NAのマイクロレンズを容易に製造することが可能なマイクロレンズの製造方法を提供すること。【解決手段】 本発明に係るマイクロレンズの製造方法は、少なくとも片面に、基板表面より深い位置にマイクロレンズ105が形成された第1および第2の基板102を製造する工程(図1(C)参照)と、当該第1および第2の基板102のマイクロレンズ105が形成された面同士を対向させて貼り合わせる工程(図1(E)参照)とを含むものである。
請求項(抜粋):
2つの基板を貼り合わせてマイクロレンズを製造するマイクロレンズの製造方法において、少なくとも片面に、基板表面より深い位置にマイクロレンズが形成された第1の基板を製造する第1の工程と、少なくとも片面に、マイクロレンズが形成された第2の基板を製造する第2の工程と、前記第1および第2の基板のマイクロレンズが形成された面同士を対向させて貼り合わせる第3の工程と、を含むことを特徴とするマイクロレンズの製造方法。
IPC (3件):
B29D 11/00
, C03C 27/10
, G02B 3/00
FI (3件):
B29D 11/00
, C03C 27/10 E
, G02B 3/00 Z
Fターム (23件):
4F213AA44
, 4F213AD04
, 4F213AD08
, 4F213AG28
, 4F213AH33
, 4F213AH74
, 4F213WA15
, 4F213WA31
, 4F213WA53
, 4F213WA58
, 4F213WA90
, 4F213WA97
, 4F213WB01
, 4G061AA13
, 4G061AA18
, 4G061BA12
, 4G061CA02
, 4G061CB04
, 4G061CB16
, 4G061CD03
, 4G061CD10
, 4G061CD18
, 4G061DA36
引用特許:
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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