特許

J-GLOBAL ID：200903053654706338

レンズ系光軸調整方法およびレンズ系光軸調整装置

発明者： 加藤 雅俊
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-315425
公開番号（公開出願番号）：特開2000-121902
出願日： 1998年10月19日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 レンズ系の偏心を定量的に計測して光軸調整を自動的に行なう。【解決手段】 すでに光軸調整されたレンズF2 〜F4 に対してレンズF1 の偏心量と偏心方向を計測してXY微動ステージ12を駆動する。この偏心量と偏心方向は、チャート24の4個の円形パターンをレンズ系Fを介してセンサ5に投影し、チャート像の複数のスライスレベルにおける2値化画像を求めて、その重心位置から得られるコマ収差の偏心量と偏心方向に基づいて算出される。

請求項（抜粋）：

保持手段によって固定保持された固定レンズ系の光軸に対して垂直に2次元的に被調整レンズ系を微動させる微駆動ステージ手段と、前記光軸に垂直な少なくとも1個の平面パターンを有するチャートと、照明光によって前記チャートの前記平面パターンを前記固定レンズ系と前記被調整レンズ系を経てセンサに投影して少なくとも1個の平面チャート像を得る投影光学系と、前記平面チャート像を複数の異なるスライスレベルで2値化したときのそれぞれの2値化画像の重心位置からコマ収差の偏心量と偏心方向を算出する演算手段と、該演算手段の出力に基づいて前記微駆動ステージ手段を制御する制御手段を有するレンズ系光軸調整装置。

IPC (2件)：

G02B 7/02 ,  G02B 7/00

FI (3件)：

G02B 7/02 C ,  G02B 7/02 A ,  G02B 7/00 D

Fターム (14件)：

2H043AA03 ,  2H043AA24 ,  2H043AB03 ,  2H043AB38 ,  2H043AD03 ,  2H043AD07 ,  2H043AD13 ,  2H043AD15 ,  2H043AD20 ,  2H043AE02 ,  2H044AA02 ,  2H044AB02 ,  2H044AC01 ,  2H044AC04