特許
J-GLOBAL ID：200903053656430496
投影露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-311651
公開番号（公開出願番号）：特開平5-129184
出願日： 1991年10月30日
公開日（公表日）： 1993年05月25日
要約：
【要約】【目的】 ステ-ジ位置の計測を空気の揺らぎや温度むら等の環境条件の変化に影響を受けずに行うことのできる測長システムの達成。【構成】 XY方向に可動なステ-ジにおいて、該ステ-ジの駆動機構部と、該ステ-ジの搭載されている本体の基準部に該基準部材と一体構造となっている固定部の互いに対向する部分に、格子干渉測長器を構成する回折格子と、一個または複数個のヘッドをそれぞれ取り付け、該ステ-ジの位置を計測する装置。
請求項（抜粋）：
XY方向に可動なステ-ジを搭載した投影露光装置において、該ステ-ジの駆動機構部と、該投影露光装置本体の基準となる部材と一体構造となっている固定部の一方に格子干渉測長器を構成する回折格子を取り付けるとともに、他方の対向する部分に一個または複数個の格子干渉測長器のヘッドを取り付け、該ステ-ジの位置を計測することを特徴とする投影露光装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, G03F 9/00
