特許

J-GLOBAL ID：200903053656894573

ウエハ押え用ウエイト

発明者： 花田 薫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206605
公開番号（公開出願番号）：特開平9-036210
出願日： 1995年07月20日
公開日（公表日）： 1997年02月07日
要約：

【要約】【目的】 エッチング処理中の冷却効率を高め、かつエッチング処理後のツメ位置に対応した非エッチング部分が次工程での電極ピンと重なることによる異常放電を防止したウエハ押え用ウエイトを提供する。【構成】 リング状のウエイト本体5と、このウエイト本体5の内周縁に突出する複数のウエハ押え用のツメ6とからなり、前記ツメ6はウエイト本体5に対し着脱可能とする。

請求項（抜粋）：

リング状のウエイト本体と、このウエイト本体の内周縁に突出する複数のウエハ押え用のツメとからなり、前記ツメはウエイト本体に対し着脱可能であることを特徴とするウエハ押え用ウエイト。

IPC (6件)：

H01L 21/68 ,  C23F 1/08 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/31

FI (6件)：

H01L 21/68 N ,  C23F 1/08 ,  C23F 4/00 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/31 F ,  H01L 21/302 B