特許
J-GLOBAL ID：200903053656970474
走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-254838
公開番号（公開出願番号）：特開平10-104243
出願日： 1996年09月26日
公開日（公表日）： 1998年04月24日
要約：
【要約】【課題】高い横方向分解能のAFM測定とSNOM測定と、高精度のエバネッセント波検出とを実現する走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーを提供する。【解決手段】カンチレバー100は、支持部106と、支持部106から延出した三角形状のレバー部104と、レバー部104の先端に形成された探針部102を有している。探針102は、三角錐の側面が内側に湾曲した疑似三角錐形状を有しており、側面の傾斜は先端に近いほど大きい。探針部102は、その先端近傍のみがアルミニウム製の反射膜108によって被覆されている。反射膜108は、例えば、探針先端から100nmの範囲を覆っている。
請求項（抜粋）：
支持部と、支持部から延出したレバー部と、レバー部の先端に形成された三角錐形状の探針と、探針の先端を被覆する電磁場反射膜とを備えている走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 21/30 Z
