特許
J-GLOBAL ID：200903053658320280
石英系ガラス微粒子体の透明ガラス化炉及びその透明ガラス化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹内 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253647
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081957
出願日： 1993年09月17日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：
【要約】【目的】 石英系ガラス微粒子体の透明ガラス化に用いられるカーボン発熱体の長寿命化を図る。【構成】 カーボン発熱体に通電し、その熱で石英炉心管を加熱し、その輻射熱を利用して石英炉心管内に導入された石英系ガラス微粒子体を透明ガラス化する。カーボン発熱体の通電時、その回りをN2 ガス雰囲気とする。高温に加熱されることで生じる石英炉心管からの珪素蒸気とN2 ガスとが反応して窒化珪素が生成され、これがカーボン発熱体に付着して膜を形成しカーボン発熱体の酸化を阻止して劣化を抑制する。
請求項（抜粋）：
石英炉心管とその外側を囲むカーボン発熱体とを具備し、石英炉心管内に供給された石英系ガラス微粒子体を透明ガラス化する炉であって、カーボン発熱体が窒化珪素膜で被覆されてなることを特徴とする石英系ガラス微粒子体の透明ガラス化炉。
IPC (2件)：
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