特許

J-GLOBAL ID：200903053659570124

照明光学装置および該照明光学装置を備えた投影露光装置

発明者： 谷津 修
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-355879
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176772
出願日： 1999年12月15日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 波面分割型オプティカルインテグレータに起因する照度ムラの発生を良好に抑え、被照射面における照度の均一性と開口数の均一性とを同時に満たす。【解決手段】 照明光を供給するための光源手段(1)と、光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成するための多光源形成手段(5)と、多数の光源からの光束を被照射面(10、12)または該被照射面と光学的に共役な面へ導くためのコンデンサー光学系(7)とを備えている。多光源形成手段としての波面分割型オプティカルインテグレータ(51、52)中の各微小レンズ要素は、被照射面上においてほぼ均一な照度を得るために、基準光軸(AX)に対して実質的に平行な軸線に関して対称な非球面状に形成された少なくとも1つの屈折面を有する。

請求項（抜粋）：

照明光を供給するための光源手段と、該光源手段からの光束に基づいて多数の光源を形成するための多光源形成手段と、前記多数の光源からの光束を被照射面または該被照射面と光学的に共役な面へ導くためのコンデンサー光学系とを備えた照明光学装置において、前記多光源形成手段は、多数の微小レンズ要素を有する波面分割型オプティカルインテグレータを有し、前記波面分割型オプティカルインテグレータ中の各微小レンズ要素は、前記被照射面上においてほぼ均一な照度を得るために、基準光軸に対して実質的に平行な軸線に関して対称な非球面状に形成された少なくとも1つの屈折面を有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 3/00 ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

G02B 3/00 A ,  G02B 19/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 527

Fターム (11件)：

2H052BA02 ,  2H052BA09 ,  2H052BA12 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CA04 ,  5F046CB01 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23 ,  5F046DA30