特許

J-GLOBAL ID：200903053660091574

透過電子顕微鏡用又は電子エネルギー損失分析電子顕微鏡用の撮像方法及び撮像装置

発明者： 大橋 利幸 ,  田谷 俊陸
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-165718
公開番号（公開出願番号）：特開平7-021961
出願日： 1993年07月05日
公開日（公表日）： 1995年01月24日
要約：

【要約】【目的】 透過電子顕微鏡や電子エネルギー損失分析器における光学撮像後の像の歪を補正する。【構成】 撮像管16で撮像されて画像表示装置20に表示された試料像が歪の無い像となるように、撮像管16の走査偏向コイル17に印加する走査信号を走査信号変調器19で変調する。非対称な扇形磁場や磁場4重極レンズによる分析像の歪についても、構造が既知の標準試料の表示像が歪のない像となるように、あるいは試料の透過電子顕微鏡像を基準として表示像がそれと同じになるように撮像管走査信号に変調をかけることにより、電子光学系の収差を撮像装置部分で補正し、歪の無い像を表示することができる。

請求項（抜粋）：

試料を透過した電子ビームによって形成された像を撮像管で撮像し、それを画像表示装置に表示する電子顕微鏡の撮像方法において、前記撮像管の走査信号の振幅及び/又は波形を変調することにより、画像表示装置に表示される透過電子ビーム像の歪を除去することを特徴とする電子顕微鏡の撮像方法。

IPC (2件)：

H01J 37/22 501 ,  H01J 37/22

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特公昭50-002227
  
• 特開昭62-229749