特許
J-GLOBAL ID：200903053670717030
原子間力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-265133
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090286
出願日： 1996年09月13日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：
【要約】【課題】 安定かつ精確な測定ができ、しかもセルの形成が容易な原子間力顕微鏡を提供する。【解決手段】 試料14を支持するチューブスキャナ5と、チューブスキャナ5と対向する位置に開口8aと探針9aとが設けられた探針支持プレート8とを備える原子間力顕微鏡1において、チューブスキャナ5と探針支持プレート8との間に設けられ、変形可能であるとともに探針支持プレート8又はチューブスキャナ5に対して相対移動可能な接触部を有する断面V形状のリング7を備え、チューブスキャナ5、リング7及び探針支持プレート8によって囲まれる空間A1に、探針9a及び試料14が配置される。
請求項（抜粋）：
試料を支持する試料支持手段と、前記試料支持手段と対向する位置に透光部と探針とが設けられた探針支持手段とを備える原子間力顕微鏡において、前記試料支持手段と前記探針支持手段との間に設けられ、変形可能であるとともに前記探針支持手段又は前記試料支持手段に対して相対移動可能な接触部を有する断面V形状のリングを備え、前記試料支持手段、前記リング及び前記探針支持手段によって囲まれる空間に、前記探針及び前記試料が配置されることを特徴とする原子間力顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 F
, G01B 21/30 Z
