特許
J-GLOBAL ID：200903053673779826
高純度ガスの系から粒子を除去する装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-191314
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066377
出願日： 2001年06月25日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：
【要約】【課題】 高純度バスボンベ及び高純度ガス系から粒子を除去する装置及び方法の提供。【解決手段】 ガス収容容器、又は流動するガス系10にインライン式に挿入された流動管14と、この容器又は流動管14に取り付けられたシールされ電気的に絶縁されたフィードスルー22と、このフィードスルー22を通し当該容器又は流動管14に挿入された、ガス中にプラズマを生じさせてガス中の粒子を帯電させるためのエミッター12と、このエミッター12の近傍のコレクター表面20とを含み、それによりエミッター12とコレクター表面20との間の電界がガス中の粒子をコレクター表面20に引きつける装置とする。
請求項（抜粋）：
下記の(a)〜(d)を含み、すなわち(a)入口と出口を有し、流動するガス系にインライン式に挿入された流動管、(b)この流動管と一体の圧力シールされ電気的に絶縁されたフィードスルー、(c)このフィードスルーを通し上記の流動管に挿入され、ガス中にプラズマを生じさせてガス中の粒子を帯電させるエミッター、及び(d)このエミッターの近傍のコレクター表面、を含み、それにより当該エミッターと当該コレクター表面との間の電界がガス中の粒子を当該コレクター表面に引きつける、高純度流動ガス系のガスから粒子を除去するための装置。
IPC (4件)：
B03C 3/04
, B01J 19/08
, F16L 55/24
, F17C 13/00 301
B03C 3/04
, B01J 19/08 K
, F16L 55/24 Z
, F17C 13/00 301 Z
3E072DA05
, 3E072DA10
, 4D054AA20
, 4D054BB02
, 4D054BB24
, 4D054BC06
, 4G075AA27
, 4G075BD14
, 4G075CA18
, 4G075CA47
, 4G075CA62
, 4G075EB41
, 4G075EC21
, 4G075FC02
