特許
J-GLOBAL ID:200903053681609689

フロート板ガラス物品の表面スズ除去方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 大野 精市
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-014868
公開番号(公開出願番号):特開平6-227842
出願日: 1993年02月01日
公開日(公表日): 1994年08月16日
要約:
【要約】【目的】 イオン交換法を用いて、透明基板上に複数の微小レンズを形成した平板マイクロレンズを製作する場合において、フロートガラスのスズ侵入層を除去し、それと同時に、後の熱処理工程における熱融着現象を防ぎ、かつその後の研磨工程の研磨代を最小限とするために、基板の表面粗さを調整できる表面スズ除去方法を提供する。【構成】 フッ酸を主成分とし、酸性フッ化アンモニウムを含むエッチャントを用いて、浸漬,洗浄,乾燥からなる1回のエッチング操作における取り代が、約10μmを越えないように、ガラス物品を該エッチャントに複数回浸漬しエッチングすることで、フロート板ガラス物品の表面スズを除去する方法。
請求項(抜粋):
フッ酸を主成分とし、酸性フッ化アンモニウムを含むガラス用エッチャントを用い、浸漬,洗浄,乾燥からなる1回のエッチング操作における取り代が、約10μmを越えないように、ガラス物品を該エッチャントに複数回浸漬しエッチングすることを特徴とするフロート板ガラス物品の表面スズ除去方法。
IPC (3件):
C03C 15/00 ,  C03B 18/02 ,  G02B 3/00
引用特許:
審査官引用 (8件)
  • 特開平3-265547
  • 特開昭60-081043
  • 特開平3-126631
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