渦電流式変位センサー

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-075909
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271204
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】安価で高精度の温度補償が可能な渦電流式変位センサーを提供する。【構成】センサーヘッド10に交流電圧発振器12から交流増幅器14、コンデンサC1を介して交流電圧を印加し、センサーヘッド10の出力電圧を整流器16によって整流し、リニアライザー18で被測定物の変位に対して線形化された出力電圧に変換する。この出力電圧は直流増幅器20によって増幅された後、出力端子から被測定物の変位量を示す信号として出力される。一方、センサーヘッド10に直流定電流源22から直流定電流を前記交流電圧に重畳して出力し、ローパスフィルタ25を介してセンサーヘッド10の直流電圧下降分をR-V変換器24に出力する。R-V変換器24は、入力された直流定電流に基づき、温度によって変化するセンサーヘッド10のコイルの導線抵抗によって生ずる直流電圧の変化分を出力し、リニアライザー18の出力電圧に加算する。この発明によれば、出力端子から得られる被測定物の変位量を示す信号は環境温度に依存しない電圧値を示すようになり、高精度な温度補償が可能になる。

請求項（抜粋）：

コイルに交流電流を供給して前記コイルから交流磁場を発生させ、被測定物の位置の変位によって大きさの異なる渦電流を誘導し、該渦電流の大きさによって変化する前記コイルの出力電圧に基づいて被測定物の変位を検出する渦電流式変位センサーにおいて、前記交流電流に重畳して前記コイルに直流電流を供給する直流電流供給手段と、前記直流電流供給手段によって供給された直流電流によって前記コイルから出力される直流電圧を検出する直流電圧検出手段と、前記直流電圧検出手段によって検出された前記直流電圧に基づいて、前記コイルの温度による抵抗変化に伴う前記コイルの出力電圧の変化を補正する補正手段と、を備えたことを特徴とする渦電流式変位センサー。

IPC (3件)：

G01B 7/00 , G01D 3/028 , G01D 5/20

FI (4件)：

G01B 7/00 E , G01D 5/20 K , G01D 5/20 P , G01D 3/04 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-038903
特開昭60-088302
特開昭57-044803

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