特許
J-GLOBAL ID:200903053686889213

加速度センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志村 浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-044120
公開番号(公開出願番号):特開平9-049856
出願日: 1996年02月06日
公開日(公表日): 1997年02月18日
要約:
【要約】【課題】 所定の一平面に含まれる方向を向いた加速度の大きさを電気信号として検出する。【解決手段】 固定基板10と変位基板20とが平行に設置される。固定基板10は円筒状の筐体内に固着され、変位基板20はその周囲を支持手段30によって円筒状の筐体内に弾性支持される。変位基板20の上面には、環状変位電極E21と中央部変位電極E22とが形成され、下面には重錘体40が固着される。固定基板10の下面には、E21,E22に対向した環状固定電極および中央部固定電極が形成されており、対向配置された一対の電極により、環状容量素子C1および中央部容量素子C2が形成される。地震等の振動により、重錘体40が揺れ、変位基板20は固定基板10に対して変位する。環状容量素子C1の静電容量値の変動により横揺れの大きさが検出でき、中央部容量素子C2の静電容量値の変動により縦揺れの大きさが検出できる。
請求項(抜粋):
センサ筐体と、このセンサ筐体に固着された固定基板と、この固定基板の下方に所定距離をおいて、前記固定基板に対向するように配置された変位基板と、この変位基板の周囲を前記センサ筐体に対して弾力性をもって支持する支持手段と、前記変位基板に固着され、検出対象となる加速度の作用により、前記支持手段に弾性変形を誘発させるのに十分な質量をもった重錘体と、前記固定基板の下面に形成され、環状形状をした環状固定電極と、前記変位基板の上面に形成され、前記環状固定電極に対する対向電極として機能する環状変位電極と、前記環状固定電極と前記環状変位電極とによって形成される環状容量素子の静電容量値の変動分V1に基いて、前記固定基板の主面に平行な方向に作用する加速度の大きさを示す電気信号を出力する検出回路と、を備えることを特徴とする加速度センサ。
IPC (2件):
G01P 15/125 ,  G01H 11/06
FI (2件):
G01P 15/125 ,  G01H 11/06

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