特許

J-GLOBAL ID：200903053697885244

低誘電性高分子化合物、その中間体及びそれらの製造方法

発明者： 岡崎 智
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 小島 隆司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-021451
公開番号（公開出願番号）：特開平11-209449
出願日： 1998年01月19日
公開日（公表日）： 1999年08月03日
要約：

【要約】【解決手段】 下記一般式(VIII)で示される重量平均分子量が1,000〜60,000の高分子化合物。【化1】(式中、Rは水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜3のアルキル基である。R’’’はメチル基又はOR”基であり、R”は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。m,nは平均値で、m=0〜2、n=0〜2である。p,qはp:q=1:10〜10:1で、p+q=1を満足する正数、rは上記高分子化合物(VIII)の重量平均分子量を1,000〜60,000とする数である。)【効果】 本発明によれば、直接法シラン合成における副生物の有効利用を計ることができ、得られた式(VIII)のポリマーは環状シロキサンの骨格を有するポリマーで、半導体等の各種基板に対する接着性に優れていると共に、アルキル基が環状シロキサンの骨格の一部を形成し、誘電率が非常に低いものである。

請求項（抜粋）：

下記一般式(VIII)で示される重量平均分子量が1,000〜60,000の高分子化合物。【化1】(式中、Rは水素原子、フッ素原子又は炭素数1〜3のアルキル基である。R’’’はメチル基又はOR”基であり、R”は水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基である。m,nは平均値で、m=0〜2、n=0〜2である。p,qはp:q=1:10〜10:1で、p+q=1を満足する正数、rは上記高分子化合物(VIII)の重量平均分子量を1,000〜60,000とする数である。)

IPC (4件)：

C08F299/08 ,  C07F 7/12 ,  C08F130/08 ,  C08G 77/50

FI (4件)：

C08F299/08 ,  C07F 7/12 W ,  C08F130/08 ,  C08G 77/50