特許
J-GLOBAL ID：200903053702086673
干渉計
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-314662
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160044
出願日： 1992年11月25日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：
【要約】【目的】環境変化の影響を受けにくく変位分布の測定の再現性が高い干渉計を提供する。【構成】光源1からの光線は1/4波長板5と1/8波長板6とを透過して偏光ビームスプリッタ2に入射する。偏光ビームスプリッタ2は、偏光方向によって光線を参照光と物体光との2方向に分割する。1/4波長板5と1/8波長板6とは、それぞれ進相軸が回転可能であって、進相軸が一致する位置と互いに直交する位置との組み合わせによって4種類の組み合わせが可能である。また、1/4波長板5と1/8波長板6を透過した光線は、偏光方向の異なる光線に位相差を与える。したがって、1/4波長板5と1/8波長板6とにより偏光方向に応じた4段階の位相差を与えることができ、偏光ビームスプリッタ2により分割された物体光と参照光とは4段階の位相差を持つことになる。
請求項（抜粋）：
互いに平行な光線を出射する光源と、光源からの入射光を偏光方向によって2方向に分割するとともに分割された光線の一方を物体光として対象物体に照射し他方を参照光として定位置に固定した参照物体に照射する偏光ビームスプリッタと、対象物体および参照物体からの光線を互いに干渉させて得られる干渉パターンの強度分布を検出する受光素子と、光源と偏光ビームスプリッタとの間の光路上に配設され光学軸が光路に直交する面内で回転可能な2枚の波長板とを具備し、各波長板が与える位相差を互いに異ならせたことを特徴とする干渉計。
IPC (2件)：
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