特許
J-GLOBAL ID:200903053703419250

II-VI族化合物半導体及びその形成方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 山本 孝久
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-134100
公開番号(公開出願番号):特開平6-326138
出願日: 1993年05月13日
公開日(公表日): 1994年11月25日
要約:
【要約】【目的】高いネットアクセプター濃度(Na-Nd)を有するp型のII-VI族化合物半導体、及びその形成方法を提供する。【構成】本発明のII-VI族化合物半導体は、I族元素、V族元素及び酸素元素をp型ドーパントとして含んで成る。II-VI族化合物半導体の形成方法は、基板上に、I族元素、V族元素及び酸素元素をp型ドーパントとして含んで成るp型II-VI族化合物半導体層を分子線エピタキシー法にて形成する。
請求項(抜粋):
I族元素、V族元素及び酸素元素をp型ドーパントとして含んで成るII-VI族化合物半導体。
IPC (4件):
H01L 21/363 ,  C30B 23/08 ,  C30B 29/48 ,  H01S 3/18

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