蒸発容器とその蒸発容器を有する成膜装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石島茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-055248
公開番号（公開出願番号）：特開2003-253430
出願日： 2002年03月01日
公開日（公表日）： 2003年09月10日
要約：

【要約】【課題】均一な有機薄膜が得られる蒸発容器を提供する。【解決手段】筒体23内部に有機材料29を配置し、筒体23内部に挿入した熱放射体27を昇温させ、熱放射体27からの熱放射と、筒体23からの熱伝導によって加熱される。有機材料29から放出された蒸気により、筒体23内部は飽和蒸気圧になり、筒体23の側面に複数個列設された放出孔24からは一定量の蒸気が放出される。

請求項（抜粋）：

筒体と、前記筒体の側面とは非接触の状態で前記筒体内に挿入された熱放射体と、前記筒体の側面に形成され、前記筒体の外部と内部とを接続する放出孔とを有し、前記筒体内に有機材料を配置し、前記熱放射体に通電して発熱させると前記放出孔から前記有機材料の蒸気が放出されるように構成された蒸発容器。

IPC (3件)：

C23C 14/24 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (3件)：

C23C 14/24 A , H05B 33/10 , H05B 33/14 A

Fターム (10件)：

3K007AB11 , 3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BD00 , 4K029CA01 , 4K029DB12 , 4K029DB14 , 4K029DB18

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平4-099164
真空蒸着システム
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-307961 出願人：ゼロックスコーポレイション
特表平1-501322

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