特許

J-GLOBAL ID：200903053713737102

化学線感応性重合体組成物

発明者： 吉村 利夫 ,  江口 益市 ,  三浦 康男
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344201
公開番号（公開出願番号）：特開平8-234433
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【構成】ポリイミド系ポリマを含有する化学線感応性重合体組成物であって、厚さ10ミクロンのプリベーク膜の波長365nmでの光線透過率が3%以上であることを特徴とする化学線感応性重合体組成物。【効果】i線露光に適している。

請求項（抜粋）：

一般式[1]【化1】(R1 は少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は、水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオン、または炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)で表される構造単位を主成分とするポリマーを含有する化学線感応性重合体組成物であって、厚さ10ミクロンのプリベーク膜の波長365nmでの光線透過率が3%以上であることを特徴とする化学線感応性重合体組成物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 505 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08L 79/08 LRB ,  H01L 21/027

FI (5件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/038 505 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08L 79/08 LRB ,  H01L 21/30 502 R