特許

J-GLOBAL ID：200903053727755928

測定システムおよび測定方法

発明者： 染矢 篤志
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-202284
公開番号（公開出願番号）：特開2003-017393
出願日： 2001年07月03日
公開日（公表日）： 2003年01月17日
要約：

【要約】【課題】 測定ポイント数を増やすことなく測定データの信頼性を上げて、システム等の状態変動を検出する。【解決手段】 CD-SEM1は、何枚かのウェハーを単位としたロット毎にレジストパターンの線幅を測定し、測定データをデータベース4に記憶して行く。ホストコンピュータ2は、測定対象のロットの測定データを取得すると、このロットの直近で同一条件で処理された複数ロットの測定データをデータベース4から呼び出し、これら測定データから移動平均値を求める。そして、この移動平均値を予め定められた規格値と比較することで、状態の変動を検出する。

請求項（抜粋）：

測定データにばらつきが生じる測定工程に至る工程での状態変動を検出する測定システムにおいて、測定対象物を測定する測定手段と、前記測定手段での測定で得られた測定データを記憶して行く記憶手段と、前記測定手段で測定対象物を測定することで得られた測定データと前記記憶手段に記憶してある過去の測定データから判定対象値を算出し、これを予め定められた規格値と比較して、状態変動の判定を行う制御手段とを備えたことを特徴とする測定システム。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G01B 15/00

FI (3件)：

G01B 15/00 B ,  H01L 21/30 502 V ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (11件)：

2F067AA26 ,  2F067BB04 ,  2F067CC17 ,  2F067HH06 ,  2F067JJ05 ,  2F067KK04 ,  2F067LL00 ,  2F067RR41 ,  5F046DB05 ,  5F046DB08 ,  5F046DB10