特許
J-GLOBAL ID：200903053733139813
透明基板検出装置及び基板検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-247304
公開番号（公開出願番号）：特開平6-077307
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：
【要約】【目的】 透明基板の有無、または透明基板及び不透明基板の有無を非接触で検出すること。【構成】 キャリアC内のウエハWをカウントするウエハカウンタ3において、発受光センサと受光センサとを、発受光面及び受光面が互いに向かい合うように対向させ、これらセンサの組を一組として、例えば合計25組となるようにセンサボ-ド31の長さ方向に配列すると共に、発受光センサの受光部よりの受光信号及び受光センサの受光部よりの受光信号の一方が切り替えて入力される判定部を設ける。透明基板の場合は反射光による発受光センサの受光部での受光信号の有無により、一方、不透明基板の場合は入射光による受光センサの受光部での受光信号の有無により基板の有無を非接触で検出する。
請求項（抜粋）：
透明基板の配置領域の一面側に配置された発光部と、前記領域に透明基板が配置されたときに、当該基板表面で反射される発光部よりの光の反射光路上に配置された受光部と、この受光部よりの受光信号にもとずいて、前記透明基板の有無を判定する判定部と、を備えてなることを特徴とする透明基板検出装置。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, G01V 9/04
, G06M 7/00 331
, H01L 31/12
