照明装置及び該照明装置を用いた露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-073969
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275317
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【目的】レーザ光源から射出されるレーザビームの空間的コヒーレンスの変化によらず、安定な照明特性、又は投影特性を維持する。【構成】レーザビームの発散角の変化を検出するセンサーを設け、該センサーの出力に応じてレーサ光源内の光学素子のうち、ビームのコヒーレンスを変化させる素子を位置調整する。

請求項（抜粋）：

所定の空間的コヒーレンスを有するビームを射出するレーザ光源と、該ビームを照明対象にほぼ均一な強度分布で照射するための強度分布均一化手段とを備えた照明装置において、前記ビームの空間的コヒーレンスに応じた値を検知する検知手段と;該検知された値が予め定められた範囲内に設定されるように、前記レーザ光源内の光学条件を調整する調整手段とを備えたことを特徴とする照明装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 505 , G03F 7/20 521 , H01S 3/00 , H01S 3/139

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 L

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-165985
特公昭62-050576
特開昭51-082029

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