ガスセンサ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407823
公開番号（公開出願番号）：特開2005-164554
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年06月23日
要約：

【課題】好ましい形状の櫛歯を実現でき、優れた性能を発揮できるガスセンサ及びその製造方法を提供すること。【解決手段】一対の櫛歯電極(11)、(13)は、矢印Y方向に沿って平行に配置された複数の長尺の櫛歯(31)を備えており、この櫛歯(31)の長手方向(矢印Y方向)に沿って、スクリーン印刷が行われる。特に、各櫛歯(31)間の間隙(43)の幅の寸法(矢印X方向の距離)は、どの位置で測定してもほぼ一定でバラツキが少なく、各櫛歯(31)間の間隙(43)の幅の寸法の平均値に対する標準偏差は2%以下である。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

支持基板上に厚膜印刷により形成され、互いに対向する長尺の櫛歯を有する一対の櫛歯電極と、該一対の櫛歯電極に接して設けられた感応部と、を有するガスセンサにおいて、前記櫛歯電極のうちの一対の櫛歯について、該櫛歯の長手方向と直交する方向の櫛歯間距離の平均値に対する標準偏差が2%以下であることを特徴とするガスセンサ。

IPC (4件)：

G01N27/12 , G01N27/02 , G01N27/04 , G01N27/22

FI (10件)：

G01N27/12 B , G01N27/12 C , G01N27/12 G , G01N27/12 J , G01N27/12 M , G01N27/02 B , G01N27/02 Z , G01N27/04 B , G01N27/04 E , G01N27/22 A

Fターム (68件)：

2G046AA03 , 2G046AA09 , 2G046AA10 , 2G046BA01 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC03 , 2G046BC04 , 2G046BC05 , 2G046BC09 , 2G046BE03 , 2G046BE08 , 2G046BJ02 , 2G046CA09 , 2G046DB05 , 2G046DC13 , 2G046DD01 , 2G046DD02 , 2G046EA02 , 2G046EA04 , 2G046EA09 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE02 , 2G046FE03 , 2G046FE12 , 2G046FE14 , 2G046FE16 , 2G046FE20 , 2G046FE22 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE34 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE44 , 2G046FE46 , 2G046FE49 , 2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AB07 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF03 , 2G060AF06 , 2G060AF07 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060AG15 , 2G060BA01 , 2G060BA09 , 2G060BB02 , 2G060BB09 , 2G060BD02 , 2G060HA01 , 2G060HA02 , 2G060HB06 , 2G060HC02 , 2G060HC06 , 2G060HC18 , 2G060HD03 , 2G060HE01 , 2G060HE03 , 2G060JA01 , 2G060JA02

引用特許：

出願人引用 (1件)

米国特許第6069013号明細書 (第3頁、第2a図)

審査官引用 (3件)

特開昭61-110045
特開昭59-043342
特開昭60-155956

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