加工装置

発明者： , , , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (1件)：山川政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-112684
公開番号（公開出願番号）：特開平8-047789
出願日： 1995年04月14日
公開日（公表日）： 1996年02月20日
要約：

【要約】【目的】工作物の表面を簡単に公害問題を生ぜずに加工する。【構成】多数の個々の加工ビームが、それぞれに割り当てられた偏向装置により偏向され、それにより加工される工作物表面上の異なった点が同時に加工される。

請求項（抜粋）：

複数の個別の加工ビーム(2.11から2.1N)で工作物(11)の表面(11a)を加工する加工装置であって、前記加工ビームのそれぞれの1つが偏向配置(6)の前記加工ビームに対応する要素(61から6N)によつて偏向され、加工される工作物(11)の表面(11a)上の異なった点を同時に加工することを可能にする加工装置において、前記偏向配置(6)の個々の要素(61から6N)の位置は制御装置(13)で目標位置に向かうように変更することができ、かつ前記偏向装置(6)の個々の要素(61から6N)はそれらの位置において少なくともひとつの座標内で個別的に変更させることができることを特徴とする加工装置。

IPC (2件)：

B23K 26/06 , H05K 3/00

引用特許：

出願人引用 (8件)

特開平1-316415
特開昭62-084889
特開平2-295692

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審査官引用 (16件)

特開平1-316415
特開昭62-084889
特開平2-295692

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