特許

J-GLOBAL ID：200903053748722744

X線発生装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-265887
公開番号（公開出願番号）：特開2000-098098
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】 飛散粒子の影響を抑制しながら利用するX線への変換効率を上げることができ、なおかつ標的材の長時間連続供給が可能であって、長期間の連続運転が可能なX線発生装置を提供する。【解決手段】 標的材101はその端面を露出しており、励起レーザーパルス光111がその端面に集光・照射されている。集光径は直径0.1mmであり、標的材101の先端部分の断面より小さな領域に励起レーザーパルス光111が集光されている。標的材101の端面にプラズマ112が形成されると標的材101は徐々に削られていくが、プラズマ112の発生位置が常時検出されており、この位置が常に一定になるように、標的材駆動装置103によって標的材101がプラズマ生成位置に送られている。標的材101はガイド部材102によって励起レーザー光111の集光位置に正確に導かれている。

請求項（抜粋）：

標的部材に励起エネルギービームを照射することによってプラズマを発生させ、当該プラズマから発生するX線を取り出すX線発生装置であって、標的材が直径0.1〜1mmの細線状のものであり、当該標的材の先端部の、先端部の断面より小さな領域に励起エネルギービームを照射する照射機構と、励起エネルギービーム照射によって消耗した部分に対応するだけの新しい標的材細線を、励起エネルギービーム照射位置に供給する標的材供給機構とを有することを特徴とするX線発生装置。