特許

J-GLOBAL ID：200903053749583284

電子ビーム装置及びオリフィス形成方法

発明者： 本荘 一郎 ,  田口 考雄
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-209072
公開番号（公開出願番号）：特開平6-061126
出願日： 1992年08月05日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 本発明は電子ビームを用いて露光、描画、検査等を行う電子ビーム装置に関し、電子エミッタを常に高真空に保持し、電子ビームの安定放出を行うことを目的とする。【構成】 電子エミッタ56の下方の電子ビーム62の通路中に、オリフィス63aが形成された第1のオリフィス板63が設けられる。オリフィス63aは、電子ビーム62により穿孔され、該電子ビーム62と同径であって、電子ビーム62に対して位置決めされた状態で所定数形成される。

請求項（抜粋）：

試料室(53)に連通する電子銃室(52)に、所定数の電子放出部(56)が設けられ、該電子放出部(56)よりビーム(62)を該試料室(53)の試料に照射する電子ビーム装置において、前記ビーム(62)の通路中の所定位置に、該ビーム(62,64)の照射により穿孔されて、該ビーム(62,64)と同径であって、該ビーム(62,64)に対して位置決めされたオリフィス(63)が所定数形成された所定数のオリフィス板(54a,54b)を設けることを特徴とする電子ビーム装置。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01R 31/302 ,  H01J 37/09 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/305

FI (2件)：

H01L 21/30 341 B ,  G01R 31/28 L