特許

J-GLOBAL ID：200903053752211487

照射装置

発明者： 大野 幸彦 ,  東尾 篤史
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-144951
公開番号（公開出願番号）：特開2002-341097
出願日： 2001年05月15日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
要約：

【要約】【課題】照射部内の酸素を不活性ガスに置換するために吹き込む不活性ガス量の低減化を図る。【解決手段】真空中で電子線2を発生させ、当該電子線2を照射窓3を通して大気中に取り出し、照射部8に配置された被照射物7を照射する照射装置1において、ガスを噴出することによって照射部8の外側にエアカーテン23,24を形成する大気ガス噴出口21,22と、照射部8に不活性ガス9を吹き込むことによって、照射部8に存在している酸素をエアカーテン23,24を介して照射部8の外側に除去し、照射部8を不活性ガス雰囲気に置換する噴射ノズル5とを備える。

請求項（抜粋）：

真空中で荷電粒子ビームを発生させ、当該荷電粒子ビームを照射窓を通して大気中に取り出し、照射部に配置された被照射体を照射する照射装置において、ガスを噴出することによって前記照射部の外側にガスカーテンを形成するガス噴出手段と、前記照射部に不活性ガスを吹き込むことによって前記照射部に存在している酸素を前記ガスカーテンを介して前記照射部の外側に除去し、前記照射部を不活性ガス雰囲気に置換する不活性ガス吹込手段とを備えたことを特徴とする照射装置。

IPC (4件)：

G21K 5/00 ,  B01J 19/12 ,  G21K 5/04 ,  G21K 5/10

FI (5件)：

G21K 5/00 B ,  B01J 19/12 C ,  G21K 5/04 A ,  G21K 5/04 E ,  G21K 5/10 C

Fターム (15件)：

4G075AA33 ,  4G075BB10 ,  4G075BD30 ,  4G075CA03 ,  4G075CA39 ,  4G075CA51 ,  4G075CA63 ,  4G075CA65 ,  4G075DA02 ,  4G075EA05 ,  4G075EB01 ,  4G075EB31 ,  4G075EC01 ,  4G075ED11 ,  4G075EE07