特許

J-GLOBAL ID：200903053754689406

リーク量測定装置

発明者： 小川 長桓
出願人/特許権者： 小川技研株式会社 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 瀧野 秀雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-103178
公開番号（公開出願番号）：特開平10-293075
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年11月04日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で短時間で正確にリーク量を測定するリーク量測定装置を提供することを課題とする。【解決手段】 マスタチャンバと取付具に取付けられた検査物の差圧の変化により検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置において、検査物より放出されるガスの放出流量に対応した値を予め記録する放出流量記録部と、差圧測定時に、放出流量記録部に記録されている放出流量に対応した気体をマスタチャンバに放出する気体放出手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

マスタチャンバと取付具に取付けられた検査物の空気を排気した後で密封し、該両者間の差圧の変化より前記検査物のリーク量を測定するリーク量測定装置において、前記検査物より放出されるガスの放出流量に対応した値を予め記録する放出流量記録部と、前記両者の差圧測定時に、前記放出流量記録部に記録されている放出流量に対応した気体を前記マスタチャンバに放出する気体放出手段と、を備えたことを特徴とするリーク量測定装置。