特許
J-GLOBAL ID：200903053760949053
排液処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-114522
公開番号（公開出願番号）：特開2000-301132
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：
【要約】【課題】 人体や環境に悪影響を与えることなく、しかも広範囲な種類の薬液の排液処理にも迅速に対処できる排液処理装置を得ること。【解決手段】 本発明の排液処理装置1は、本体である架台2を中心に移動し易く構成されていて、皿状構造の架台2の上面にポンプ6が配設、固定されており、開閉自在なカバー7で覆われ、前記架台の背面には、そのポンプ6にチューブを介して接続される吸引接続口9と排出接続口10とが設けられている。また、架台2の正面にはエア採り入れ口11、レギュレータ12、圧力計13及びエア緊急遮断装置14が配設されている。
請求項（抜粋）：
移動が容易に構成されている架台と、該架台の上部に側壁と開閉自在なカバーとで覆われた構造で配設された耐薬品性に優れたポンプと、該ポンプの吸引側に接続され、前記架台の外面に開口して接続されいる排液吸引チューブと、該排液吸引チューブに接続された吸引ノズルと、前記ポンプの排出側に接続され、前記架台の外面に開口して接続されいる排液排出チューブと、前記架台の外面に臨んで形成されたエア採り入れ口とから構成されていることを特徴とする排液処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C02F 1/00 J
, H01L 21/306 J
5F043EE32
, 5F043EE40
, 5F043GG10
