特許
J-GLOBAL ID：200903053769438523
熱処理装置および処理容器のクリーニング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-168869
公開番号（公開出願番号）：特開平6-013325
出願日： 1992年06月26日
公開日（公表日）： 1994年01月21日
要約：
【要約】【目的】 効率的に処理容器内のクリーニングを実施することのできる熱処理装置および処理容器のクリーニング方法を提供する。【構成】 処理容器3からの排気配管6は、真空ポンプ10に接続されており、その途中に内部を流通する排気気体中のダスト数をカウントするダストカウンタ11および自動的に圧力を制御するオートプレッシャーコントローラ12が配設されている。不活性ガス供給配管5は、バルブ13を介して不活性ガス供給源14に接続されており、バルブ13を開閉することにより、処理容器3内に所定圧力の不活性ガスを噴出させることができるよう構成されている。このバルブ13は、制御装置15によって開閉制御される。
請求項（抜粋）：
処理容器内に配置した被処理物を加熱するとともに、前記処理容器に接続された排気配管から排気しつつ、前記処理容器内に所定の処理ガスを供給して前記被処理物に所定の処理を施す熱処理装置において、前記排気配管に、内部を流通する気体中のダストの数を検出する手段を設けたことを特徴とする熱処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, H01L 21/22
, H01L 21/304 341
