特許
J-GLOBAL ID：200903053770710202
電気機械弁を有する高速流体分配装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡部 正夫 (外11名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-537457
公開番号（公開出願番号）：特表2000-508962
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】種々のタイプの粘性流体を分配する流体分配装置は、高速で作動できる弁(30)を有する。弁は、内部および外部(31、32)コアの端面に対面する比較的大きい磁極面(75、76)区域を有する電機子(60、61)を移動させる硬いダイアフラムばね(73)を有する。電機子の動作が、電機子の上下にある流体材料によって干渉されないように、流体材料が流れるための、電機子(60、61)を通る開口部(66)が設けられる。電機子はコアの近傍に配置され、ストロークが短く、したがって電機子とコアとの間の磁束ループの空隙が小さく、磁気回路の抵抗を減少させ、したがってコイル(37)によって生成される力の量が増加する。
請求項（抜粋）：
1.流体を分配する磁気作動弁を有する分配装置アセンブリであって、 内部チャンバを有し、流体をチャンバに導入する通路を有する本体と、 流体が流れる内部通路を有する、チャンバ内の内部コアと、 内部コアの周囲の外部コアと、 チャンバ内に配置されて、流体がチャンバから流れ出る開位置と、チャンバからの流体の流れが遮断される閉位置との間で移動可能な弁と、 弁部材と接続してこれを開位置に移動させるチャンバ内の電機子とを備え、電機子は、電機子がチャンバ内で移動するにつれ、電機子の一方側にある流体の少なくとも一部が電機子を通って電機子の他方側に移動できるようにする、電機子を通って延在する複数の開口部を有し、さらに、 チャンバ内に装着されて電機子と係合し、弁部材を閉位置にバイアスするダイアフラムばねと、 チャンバ内で内部コアと外部コアの間にあり、電機子に電圧を印加してこれを移動させ、弁部材を開位置に移動させることができる磁気コイルとを備える分配装置アセンブリ。 2.ばねが、電機子の1つ以上の開口部と整列する1つ以上の開口部を有することを特徴とする請求項1に記載の分配装置アセンブリ。 3.内部コアと外部コアが端面を有し、電機子がコアの端面に隣接して配置されることを特徴とする請求項1に記載の分配装置アセンブリ。 4.電機子が、コアの端面をほぼ覆う磁極面を提供することを特徴とする請求項3に記載の分配装置アセンブリ。 5.磁極面が、外周を除くコアの全端面を覆うことを特徴とする請求項4に記載の分配装置アセンブリ。 6.電機子の磁極面が、内部電機子および外部電機子の磁極面を備え、磁極面が端面と反対側に配置されることを特徴とする請求項4に記載の分配装置アセンブリ。 7.電機子が内部電機子および外部電機子を備え、ばねがその間に固定されることを特徴とする請求項1に記載の分配装置アセンブリ。 8.ばねが、内部電機子の外径を囲む内径を有することを特徴とする請求項7に記載の分配装置アセンブリ。 9.外部電機子に複数の開口部が形成され、ばねが、外部電機子の開口部と整列する複数の開口部を有することを特徴とする請求項8に記載の分配装置アセンブリ。10.電機子が、コアに隣接する電機子の表面に溝を含み、材料に穴への流路をつけることを特徴とする請求項1に記載の分配装置アセンブリ。11.電機子が、コアに隣接する電機子の表面から延在して、コアに対して電機子を配置するランドを有することを特徴とする請求項1に記載の分配装置アセンブリ。12.電機子が3つのランドを有することを特徴とする請求項11に記載の分配装置アセンブリ。13.電機子が内部電機子および外部電機子を備え、外部電機子に3つのランドが形成され、3つのランドが外部コアに隣接する外部電機子の表面から延在して外部コアに接触し、コアに対して電機子を配置することを特徴とする請求項12に記載の分配装置アセンブリ。14.流体を分配する分配装置であって、 流体の供給部と接続する取付部と、 流体を基板上に分配するノズルと、 取付部からノズルへの流体の流れを制御する弁アセンブリとを備え、弁アセンブリは、内部チャンバを有して、流体をチャンバ内へと導入する通路を有する本体を備え、さらに、 流体が流れる内部通路を有し、内部端面を有するチャンバ内の内部コアと、 内部コアの周囲の外部コアとを備え、外部コアは外部端面を有し、さらに、 チャンバ内に配置されて、流体がチャンバから流れ出る開位置と、チャンバからの流体の流れが遮断される閉位置との間で移動可能な弁部材と、 弁部材と接続してこれを開位置に移動させるチャンバ内の電機子とを備え、電機子は、内部磁極面を有する内部電機子と、外部磁極面を有する外部電機子とを備え、外部電機子はそれを通って延在する開口部を有し、内部電機子は、電機子がチャンバ内で移動するにつれ、電機子の一方側にある流体が電機子の他方側に移動できるようにする、電機子を通って延在する少なくとも1つの開口部を有し、さらに、 チャンバ内に装着されて電機子と係合し、弁部材を閉位置にバイアスするダイアフラムばねと、 チャンバ内で内部コアと外部コアの間にあり、電機子に電圧を印加してこれを移動させ、弁部材を開位置に移動させることができる磁気コイルとを備え、内部磁極面と外部磁極面が、内部端面および外部端面の反対に配置され、少なくとも外部磁極面および内部端面および外部端面が、コイルに電圧が印加されると電機子を内部および外部コアに向かって引きつける磁束ループの一部を備える分配装置。15.ダイアフラムばねが、内部電機子および外部電機子の開口部と整列する開口部を有することを特徴とする請求項14に記載の分配装置。
IPC (3件)：
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
, F16K 31/06 305
B05C 5/00 101
, B05C 11/10
, F16K 31/06 305 L
