特許

J-GLOBAL ID：200903053774002288

感光性樹脂の塗布方法及び乾燥方法

発明者： 武川 博三
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-343265
公開番号（公開出願番号）：特開2002-148808
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月22日
要約：

【要約】【課題】 グレートーン露光では、感光性樹脂膜の膜厚平坦化を図ることは難しかった。【解決手段】 グレートーン露光で残すべき感光性樹脂膜厚分を塗布し、さらに感光性樹脂を通常膜厚とするため塗布を繰り返す、また塗布毎に乾燥を行う、異なる溶媒濃度の感光性樹脂を塗布する。

請求項（抜粋）：

紫外光により感光性樹脂のパターニングを行うに際し、被加工膜が成膜された基板に感光性樹脂を塗布した後、さらに前記感光性樹脂が塗布された前記基板面に感光性樹脂を塗布することを少なくとも1回行うことを特徴とする感光性樹脂の塗布方法。

IPC (4件)：

G03F 7/095 ,  B05D 7/24 301 ,  G03F 1/08 ,  G03F 7/38 501

FI (4件)：

G03F 7/095 ,  B05D 7/24 301 T ,  G03F 1/08 G ,  G03F 7/38 501

Fターム (26件)：

2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025DA12 ,  2H025EA05 ,  2H025EA10 ,  2H025FA01 ,  2H025FA40 ,  2H025FA41 ,  2H095BC02 ,  2H095BC04 ,  2H096AA25 ,  2H096AA27 ,  2H096CA14 ,  2H096DA01 ,  2H096EA30 ,  2H096HA11 ,  4D075AE05 ,  4D075AE13 ,  4D075BB24Z ,  4D075BB95Z ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DB11 ,  4D075DC22 ,  4D075EA21

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭64-064220
  
• 特開昭64-064220