ウエハー枚葉搬送用コンベヤの移載装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-073088
公開番号（公開出願番号）：特開2002-237512
出願日： 2001年02月08日
公開日（公表日）： 2002年08月23日
要約：

【要約】[課題]半導体製造工場は装置群間をカセットで搬送して、装置間を枚葉コンベヤでつないでウエハーを搬送するシステムが望ましい。枚葉コンベヤは高能力搬送となるのでコンベヤとの移載速度や、装置群間(ストカー間)の搬送に使われるカセットへのウエハーの出し入れ能力が問題であった。短時間でカセットからウエハーを出し入れできる装置と枚葉コンベヤと高速移載できる一連の装置の開発が課題であった。[解決手段]本発明はストッカーのカセットステーション(2,3)からウエハーを同時に出し入れし、仮受けボックス間と移載するバッチ用ロボット(5,6)を備える。仮置きボックスからウエハーを一枚ずつコンベヤと移載する積み込み、降ろしロボット(11,12,13,14)は移載頻度に応じて台数設定できる。カセットとは一度にウエハーを出し入れし、コンベヤとは搬送能力に合わせて台数設定して枚葉ハンドリングできる一連の装置構成を特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハー25枚入り搬送カセットまたは密閉ボックスのウエハーを全数同時に掬い取る移載ロボットと、昇降機能つき仮置きボックス及びウエハー枚葉搬送用コンベヤへのロボットを組み合わせた一連の装置

IPC (3件)：

H01L 21/68 , B65G 1/00 549 , B65G 49/07

FI (4件)：

H01L 21/68 A , B65G 1/00 549 , B65G 49/07 A , B65G 49/07 C

Fターム (19件)：

3F022CC02 , 3F022EE05 , 3F022KK20 , 3F022MM01 , 3F022MM02 , 3F022MM11 , 5F031CA02 , 5F031DA17 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA07 , 5F031FA09 , 5F031FA11 , 5F031FA13 , 5F031GA03 , 5F031GA49 , 5F031GA50 , 5F031GA51 , 5F031PA09

前のページに戻る