特許
J-GLOBAL ID:200903053777830394

アルミニウム系金属の酸性洗浄水溶液及び洗浄方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 吉田 研二 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-018096
公開番号(公開出願番号):特開平7-113189
出願日: 1994年02月15日
公開日(公表日): 1995年05月02日
要約:
【要約】【目的】 有害なフッ素及びクロムイオンを含有せず、酸性洗浄を行うアルミニウム系金属の酸性洗浄水溶液及びその戦場方法を提供する。【構成】 無機酸の少なくとも一種、Br- イオン及び酸化型金属イオンを、特定量含み、必要に応じて界面活性剤、酸化剤を添加したアルミニウム系金属性洗浄水溶液を所定量に希釈した洗浄浴の酸化還元電位を0.5〜0.8V(vs.Ag-AgCl)に管理する。【効果】 アルミニウム系金属酸性洗浄水溶液にフッ素イオン及びクロムイオンを含まず、低温(60°C以下)でも均一にエッチング効果を有することが可能となり、Br- は、酸化剤、酸化型金属イオンによる界面活性剤の酸化分解反応を抑制する効果をも有し、これにより寿命の長い酸性洗浄水溶液を得ることができる。
請求項(抜粋):
無機酸から選ばれる少なくとも1種を0.5〜25g/lと、臭素イオンを0.002〜5g/lと、酸化型金属イオンを0.05〜4g/lと、を含有することを特徴とするアルミニウム系金属の酸性洗浄水溶液。
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特表平4-502785

前のページに戻る